Описание
« Быстрый ход Logitech DL складывая материалы систем отростчатые с высокой геометрической точностью. 4 станция DL4 способна на обрабатывать до 4 образца 200mm (8 “) (или более небольших множественных образцы) одновременно.
Ряд емкости на системах DL делает эти идеальный для небольших исследовательских лабараторий до конца к промышленным средам. Типичные материалы включают нитрид сапфира, кремниевого карбида или галлия.
Складывая несущая мотор управляемый для обеспечения вращения образца во время обработки, приводящ в превосходном единообразии вафли и вафле к единообразию вафли.
Типичные поверхностные возможности финиша:
Сапфир: 1nm
GaN: 1nm
SiC: 3nm
Материальные тарифы удаления, типично: 4-10 микронов в hour. /html»
