Description
Депонированные материалы
парилол N, C, D, D, F-VT4
Диапазон толщин
0.05-20 микрометров
Размеры:
ширина: около 700 мм
глубина: около 500 мм
высота: около 700 мм
Пиролиз
1.6 кВт / макс. мощность 6 кВт 750 °C
Комната
диаметр: 200 мм
высота: 200 мм
Карусель
Диаметр: 170 мм
высота:170 мм
Холодная ловушка
Жидкость N2
Насосная система
двухступенчатая роторная лопатка
Скорость откачки 16 м3/ч
Конечное давление
1 x 10-3 мбар
Контроль
полная система управления ПК,
программное обеспечение на базе Windows
Связи:
230 В/16 A/50-60 Гц
(Сжатый воздух: 6 бар без масла и сухой)
Выход
Труба 20 мм
