Description
ISE – это новый спектроскопический эллипсометр in situ, разработанный для мониторинга процесса обработки тонких пленок в режиме реального времени. Используя нашу проверенную технологию, iSE позволяет пользователям оптимизировать оптические свойства осажденных пленок, контролировать рост пленки с суб-ангстремной чувствительностью и отслеживать кинетику роста.
Мощный
Благодаря возможности спектроскопической эллипсометрии (SE), iSE способен измерять толщину и оптические свойства с гораздо большей точностью, чем другие методы.
Компактный
Новый компактный дизайн позволяет легко интегрировать прибор в любую камеру.
Универсальный
Точное определение толщины и оптических свойств для широкого спектра тонких пленок, включая металлы, полупроводники, оксиды, нитриды и др.
Доступный
Возможности спектроскопической эллипсометрии по разумной цене.
Простой в использовании
Удобный интерфейс для анализа роста и травления тонких пленок в режиме реального времени.
