Описание
VUV UVISEL 2 поколение ne ellipsometer модуляции участка для измерения VUV. Это главное спектроскопическое ellipsometer доступное, запланированный транспортировать самые быстрые измерения тонкого фильма над самым большим диапазоном длины волны, от 147 до 2100 nm. VUV UVISEL 2 пополам ellipsometer, пригонка для работы в 2 режимах, под азотом или необходимым вакуумом. Свой механический план улучшен для низкого использования азота вниз к 6l/min, и рассматривает быструю загрузку образца. Вариант 8 размеров места идеален для минимального измерения зоны и быстро доступная камера во фронте делает образец нагружая весьма соответствующее. Она включает двойные источники витальности наивысшей мощности, высокую оптику объема, модулятор/демодулятор фотоснимка Caf2 гибкий и 2 предварительных монохроматоров. VUV UVISEL 2 дает высокую чувствительность на длинах волны VUV.
