Description
Новое агломерационное оборудование SIN 20 разработано для поддержки НИОКР и институтов в налаживании, оценке и оптимизации процессов спекания.
В SIN 20 используется хорошо известная, одобренная и запатентованная компанией PINK эквилибрационно-вакуумная технология, основанная на техническом принципе выравнивания давления. Это позволяет проводить спекание в идеальной атмосфере N2, а также в восстановительной атмосфере, например, в муравьиной кислоте. Можно спекать как медные подложки, так и подложки с покрытием Au или Ag.
Гибкая система верхней оснастки (высокая сила Softtool или Hardtool)
Целевые применения:
– Закрепление матрицы на подложке и свинцовой раме
– Прикрепление подложки к базовой пластине
– Соединение вершин матриц
– Крепление мощных светодиодов
Герметичная технологическая камера
Технологическая зона:
– Спекание: до 100 x 100 мм
– Макс. высота изделия: 50 мм
– Мин. расстояние между изделиями: 0 мм
Система нагрева:
– Температура нагревательной плиты до 350 °C
– Отдельная зона охлаждения и нагрева
Система верхнего инструмента:
– Динамически адаптируемое усилие прижима от 1 кН до 200 кН
– Непрерывное усилие: 175 кН
– Динамически адаптируемое давление до 30 МПа с Softtool и до 60 МПа с Hardtool
– Динамически управляемые и контролируемые темпы изменения давления
– Скорость привода: вверх до 17,5 мм/с, вниз до 27,5 мм/с
Система контроля атмосферы:
– Точное управление атмосферой газа (N2, N2/O2, N2/H2, HCOOH)
– Диапазон атмосферного давления: 1 – 960 мбар
Управление процессом и пользовательский интерфейс:
– Свободно программируемые управляемые и контролируемые температура, атмосферное давление и профили давления
– Постоянный контроль процесса
Связь:
– Интерфейс Ethernet
– Удаленное обслуживание (VPN)
Низкое потребление энергии и технологических сред
Запатентованная на международном уровне система
