Описание
Система контроля краев пластин позволяет с высокой точностью измерить поверхность пластин с помощью трех камер обработки изображений. Таким образом, дефекты длиной более 300 нм надежно обнаруживаются. Неисправные пластины могут существенно повлиять на последующие этапы процесса и привести к остановке производства.
Детали
– Надежное обнаружение дефектов
– 2 – 5 мм края пластины
– система обработки изображений высокого разрешения
– Обнаруживает частицы, трещины, царапины, точечные и плоские дефекты, дефекты травления, рост кристаллов, загрязнения и отклонения геометрии
