Описание
29xx
Широкополосные плазменные системы контроля дефектов полупроводниковых пластин
Широкополосные плазменные системы контроля дефектов серии 295x обеспечивают достижения в области оптического контроля дефектов, позволяя обнаруживать критические для производительности дефекты на логике ≤7 нм и передовых узлах памяти проектирования. Используя усовершенствованную технологию широкополосной плазменной подсветки, а также новые технологии pixel-point™ и nano-cell™, широкополосные плазменные дефектоскопы 2950 и 2955 обеспечивают чувствительность, необходимую для регистрации критических дефектов в различных технологических слоях, типах материалов и технологических штабелях. Являясь отраслевым стандартом для поточного мониторинга, чувствительность пар 295x серии 295x со скоростью проверки дефектов оптических пластин позволяет Discovery at the Speed of Light™ – сочетание быстрого обнаружения дефектов и полной характеристики дефектов при оптимальной стоимости владения.
Заявления
Обнаружение дефектов, Обнаружение горячих точек, Отладка процесса, Инженерный анализ, Мониторинг линии, Обнаружение окна процесса
