Описание
Оптическая система измерения толщины наномассивов C12562 представляет собой компактную, компактную, бесконтактную систему измерения толщины пленки, предназначенную для легкой установки в оборудование, где это необходимо. В полупроводниковой промышленности измерение толщины кремния имеет важное значение в связи с распространением сквозного кремния по технологии; в пленочной промышленности адгезионные пленки становятся все более тонкими в соответствии со спецификациями продукта. Поэтому в настоящее время в этих отраслях промышленности требуется еще более высокая точность измерения толщины в диапазоне от 1 мкм до 300 мкм. C12562 позволяет производить точные измерения в широком диапазоне толщин от 500 нм до 300 мкм, включая тонкопленочное покрытие и толщину пленочной подложки, а также общую толщину. C12562 также обеспечивает быстрые измерения до 100 Гц, что делает его идеальным для измерений на высокоскоростных производственных линиях.
Особенности
– Делает измерения в диапазоне от толщины тонкой пленки до общей толщины
– Сокращение времени цикла (макс. 100 Гц)
– Усовершенствованные внешние триггеры (вмещает высокоскоростные измерения)
– В программное обеспечение добавлено упрощенное измерение
– Способен выполнять анализ обеих поверхностей
– Точное измерение колеблющейся пленки
– Анализировать оптические константы (n, k)
– Внешний контроль доступен
Спецификации
Номер типа: C12562-04
Диапазон измеряемой толщины пленки (стекло): от 500 нм до 300 мкм*1
Воспроизводимость измерений (стекло) : 0,02 нм*2 *3
Точность измерения (стекло) : ±0,4 %*3 *4
Источник света : Источник света галоида
Размер пятна: Приблизительно φ1 мм*3
Рабочее расстояние: 10 мм*3
Количество измеряемых слоев : макс. 10 слоев
Анализ : БПФ-анализ, анализ посадки, оптический постоянный анализ
Время измерения: 3 мс/точка*5
Форма разъема волокна : FC
