Описание
Лазерный интерферометр нового поколения
Лазерный интерферометр для измерения длины в диапазоне от нанометра до нескольких метров
Растущие требования к точности координатно-измерительных машин, станков и устройств позиционирования с диапазоном перемещения более нескольких метров ставят перед измерительными системами проблему их приемки и калибровки. В этом контексте лазерные интерферометры нового поколения обладают уникальными свойствами, сочетающими большой диапазон измерения длины с необычайно высоким разрешением. Благодаря использованию длины волны гелий-неоновых лазеров в качестве долгосрочного стабильного стандарта измерения, измерительные системы могут быть отслежены до национальных стандартов и, следовательно, идеально подходят для калибровки и задач в метрологии. В основе интерферометров лежит однолучевая концепция SIOS Meßtechnik GmbH, которая сочетает в себе превосходную линейность во всем диапазоне измерений с простой калибровкой.
Базовая система серии SP-NG основана на проверенной концепции компактного однолучевого лазерного интерферометра от SIOS Meßtechnik GmbH. Эти интерферометры отличаются тем, что для интерферометрического измерения длины используется только один измерительный луч, который отражается от измерительного отражателя обратно в себя. В результате на объекте измерения образуется определенная точка измерения. Поэтому можно спроектировать метрологическую установку таким образом, чтобы лазерный луч был точно выровнен с измерительной осью. Это минимизирует ошибку Аббе, которая является типичным источником ошибок при всех измерениях длины. Благодаря небольшому отражателю, который может наклоняться до ±12,5°, измерительные установки могут быть быстро и легко откалиброваны.
