Описание
STACIS® III – это гибкая усовершенствованная система активной виброизоляции. Используя передовые инерционные датчики вибрации, сложные алгоритмы управления и современные пьезоэлектрические актуаторы, STACIS отменяет вибрацию в режиме реального времени, непрерывно измеряя активность пола, затем расширяя и сжимая пьезоэлектрические актуаторы, чтобы отфильтровать движение пола.
Первоначально разработанный для изоляции прецизионного микролитографического, метрологического и инспекционного оборудования на современных полупроводниковых заводах, STACIS в настоящее время является стандартным отраслевым решением для наиболее чувствительных приборов в шумной среде, включая, но не ограничиваясь, полупроводниковые заводы, лаборатории анализа неисправностей, исследования в области нанотехнологий, нанопроизводство и исследования в области материаловедения
STACIS III включает в себя новый улучшенный цифровой контроллер DC-2020. Благодаря новому двухъядерному процессору и Ethernet, а также последовательным портам USB на передней и задней панелях, эта новая усовершенствованная система управления предоставляет пользователю современный и простой в использовании графический интерфейс пользователя (GUI). С сотнями успешных инсталляций по всему миру STACIS является идеальной системой виброизоляции для наиболее чувствительных к вибрации приборов.
Преимущество
STACIS в сотни раз жестче, чем воздушные изоляторы, и не страдает ни от каких ограничений систем виброизоляции воздуха. Отсутствует “мягкая” подвеска, и, в отличие от активных пневматических систем, STACIS может быть размещен под инструментом с внутренней активной пневмоизоляцией, при этом обе системы полностью оптимизированы.
