Description
Внедрение продуктовой линейки метрологической системы на основе проектирования
Рецепт-директор:
Автоматическое создание рецептов CD-SEM с использованием проектных данных
DesignGauge-Analyzer(DG-A):
Поддержка оценки OPC и оптимизация измерений образов в процессе литографии
Особенности
Создание рецептов блюд в автономном режиме без использования пластин и CD-SEM-ЭМ
Автоматическое создание рецептов блюд путем указания точек и методов измерения
Высокое качество рецептов (последовательность – не зависит от навыков оператора)
Стиль сервера/клиента
