Описание
SiBrickScan (SBS) является FTIR oнлайн системой для количественного определения внутрипорового кислорода в целых слитках кремния, точный профиль концентрации вдоль продольной оси. Получение информации без распиливания пластин или прочей подготовки образцов для испытаний является основным преимуществом и большой экономией: анализируйте отдельные слитки перед распиливанием и оптимизируйте процесс кристаллизации Si!
Уникальные особенности SBS:
• Высокая чувствительность, достижимый предел обнаружения кислорода < 2 ppma
• Высококачественная калибровка, базирующая на ASTM/SEMI 1188
• Доступно для квадратных и цилиндрических слитков различных диаметров
• Инновационная высокочувствительная траектория луча и встроенный эталонный образец
• Интуитивный и удобный пользовательский интерфейс
• Автоматизированная оценка данных
• Индустриальный прочный дизайн с точным линейным приводом
• ИК Детектор, нет необходимости в жидком азоте
