Description
Вводя прекурсор в плазму после разряда, ULCoat наносит тонкие слои на обрабатываемую поверхность.
ULCoat – это система, которая испаряет и впрыскивает прекурсор под плазменное сопло. ULCoat используется в сочетании с генератором OMEGA ULS.
Стандартная установка была разработана для осаждения SiOx с использованием металлоорганического прекурсора. Однако по запросу могут быть разработаны другие рецепты.
Лаборатория разработки процессов AcXys Technologies к вашим услугам для разработки приложения, отвечающего вашим потребностям, в рамках контракта на исследования и разработки.
Технология ULCoat
– Соединяется с модулем ULS OMEGA
– Используется для осаждения тонких слоев
– Регулируемая толщина от 50 до 1000 нанометров
– Равномерная толщина с отклонениями +/- 2%
– Скорость обработки до 200 нм.см2 / с
– Стандартная версия оптимизирована для осаждения SiOx
Инжекционное сопло
Поток прекурсора контролируется перед его инжекцией в плазму. Этот модуль сочетает в себе следующие элементы:
– резервуар для прекурсора
– Контроль потока прекурсоров
– Контроль потока газа
– Нагревательный компонент (опция)
Интуитивно понятный цифровой интерфейс сенсорный экран
– Встроенный сенсорный экран (выносной, если требуется OEM)
– Интуитивное управление
– Многоязычный интерфейс
– Обнаружение ошибок и устранение неисправностей
– Отображение инструкций в реальном времени
Совместимый газ
– Воздух
– Азот
– Другие газовые смеси
