Описание
В основном используется для создания высококачественных антибликовых покрытий при производстве кристаллических кремниевых солнечных элементов, а также для осаждения пассивирующей пленки на задней стороне солнечных элементов.
Графитовая лодка и пластины готовы→ Впуск азота→ Загрузка графитовой лодки→ Вакуумирование, испытание давлением → Предварительная очистка и проверка аммиака→ Вакуумирование трубки, проверка герметичности, постоянная температура→ Нанесение предварительного покрытия → Нанесение покрытия→ Вакуумирование, испытание давлением→ Очистка трубки и впуск азота→ Выгрузка графитовой лодки.
– Совместим с процессом SiOxNy PERC.
– Технология двойного уплотнения фланцев охлаждающей воды.
– Запатентованная технология внутреннего нагрева.
– Высокоскоростной встроенный механизм толкания лодки модуля.
– Бесконтактная графитовая лодочка с кварцевой трубкой.
– Программное обеспечение MES с независимым правом интеллектуальной собственности.
– Независимо разработанная система ССС
– Технология быстрого нанесения покрытий.
– Сигнальная защита при перегреве, поломке термопары и столкновении с лодкой.
