Description
PRO линия серия PVD – разносторонний брызгать, луч электронов, восходящий поток теплого воздуха, & органическая платформа низложения испарения
PRO линия серия PVD использует модульное проектирование конфигурируемое для разнообразие применений низложения тонкого фильма.
Доступный в 3 увеличивая размерах камеры: PVD75, PVD200, и PVD500
Доступный с магнетроном Mag Keeper™ UHV TORUS® совместимым круговым брызгая источники в 2″, 3″, 4″ диаметры
Доступный с магнетронами TORUS® линейными
Доступный с источниками испарения луча электронов Мульти-кармана
Доступный со множественными термальными конфигурациями источника испарения
До 2 органических источника испарения доступного
варианты Мульти-метода доступные. Примеры: Луч электронов + брызгающ, луч электронов + испарение
Влажный или сухой грубый нагнетать, насос turbo, или криогенные варианты вачуумного насоса глубокого вакуума насоса доступные
Стандартные конфигурации совместимые с до 11″ до 20″ субстраты OD (в ожидании размера камеры); до топления 850°C, охлаждая, и склоняя варианты доступные
Варианты одиночных и мульти-вафли нагрузки замка доступные для субстратов до 6″
PRO линия серия инструментов PVD включает пакет предварительным управлением eKLipse™ KJLC новаторский
