Мини-камера PVD, на 100% предназначенная для перовскитов
– Может быть интегрирована в существующие перчаточные боксы MBRAUN (через предкамеру)
– Компактный дизайн
– Для подложек размером до 50×50 мм
– До 4 источников
– Однородность слоя < +/-5 %
- Экономичное решение
- Короткое время поставки
- Простая модернизация в существующих перчаточных боксах
| Power_output | PVD |
|---|---|
| Net | тонких слоев |
| Вариант | для микроэлектронной промышленности, для фотогальванического оборудования |
| Другие характеристики | вакуумная |
| Technology | с помощью магнетронного катодного распыления, термическим испарением, с помощью пучка ионов |
| Бренд |
Мини-камера PVD, на 100% предназначенная для перовскитов
– Может быть интегрирована в существующие перчаточные боксы MBRAUN (через предкамеру)
– Компактный дизайн
– Для подложек размером до 50×50 мм
– До 4 источников
– Однородность слоя < +/-5 %
- Экономичное решение
- Короткое время поставки
- Простая модернизация в существующих перчаточных боксах
| Power_output | PVD |
|---|---|
| Net | тонких слоев |
| Вариант | для микроэлектронной промышленности, для фотогальванического оборудования |
| Другие характеристики | вакуумная |
| Technology | с помощью магнетронного катодного распыления, термическим испарением, с помощью пучка ионов |
| Бренд |
