Описание
Широкий набор систем визуализации высокого разрешения для облучения на длине волны 193 нм, включая позитивную сухую и иммерсионную визуализацию и проявление негативного тона (NTD)
– Высокая пропускная способность
– Превосходное разрешение
– Широкие технологические окна
– Низкий уровень дефектов
– Вертикальные профили
– Серия GAR
– Продукты серии GAR подходят для работы с широким спектром приложений, требующих сухого облучения на 193 нм
– Серия FAiRS для PTD
Серия продуктов FAiRS подходит для работы с широким спектром приложений, требующих иммерсионного облучения при 193 нм и развития положительного тона
– Серия FAiRS для NTD
Серия продуктов FAiRS подходит для работы с широким спектром приложений, требующих иммерсионного облучения 193 нм и развития негативных тонов
