Description
IR-VASE® – первый и единственный спектроскопический эллипсометр, сочетающий химическую чувствительность ИК-Фурье спектроскопии с чувствительностью спектроскопической эллипсометрии тонких пленок. IR-VASE охватывает широкий спектральный диапазон от 1,7 до 30 микрон (от 333 до 5900 волновых чисел). Он используется для определения характеристик как тонких пленок, так и сыпучих материалов в научных исследованиях и промышленности. Эта быстро развивающаяся технология находит применение в оптических покрытиях, полупроводниковой, биологической и химической промышленности, а также в исследовательских лабораториях.
Широкий спектральный диапазон
Охватывает ближний и дальний инфракрасный диапазон.
1.От 7 до 30 микрон
(от 333 до 5900 волновых чисел)
Разрешение от 1 см-1 до 64 см-1
Высокая чувствительность к ультратонким пленкам
Данные спектроскопической эллипсометрии содержат как “фазовую”, так и “амплитудную” информацию от отраженного или проходящего света. Фазовая информация ИК-эллипсометрии обеспечивает более высокую чувствительность к ультратонким пленкам, чем FTIR-отражение/поглощение, при сохранении чувствительности к химическому составу.
Неразрушающая характеризация
IR-VASE предлагает бесконтактные, неразрушающие измерения многих различных свойств материалов. Измерения не требуют вакуума и могут быть использованы для изучения границ раздела жидкость/твердое тело, распространенных в биологии и химии.
Не требуется базовая линия или эталонный образец
Эллипсометрия – это метод самореференции, который не требует эталонных образцов для поддержания точности. Можно измерять образцы, диаметр которых меньше диаметра пучка, поскольку не требуется собирать весь пучок.
Высокоточное измерение
Запатентованные процедуры калибровки и сбора данных обеспечивают точные измерения Ψ и Δ во всем диапазоне прибора.
