Description
Линейка спектроскопических эллипсометров M-2000® разработана для удовлетворения разнообразных требований к определению характеристик тонких пленок. Передовая оптическая конструкция, широкий спектральный диапазон и быстрый сбор данных объединяются в чрезвычайно мощный и универсальный инструмент. M-2000 обеспечивает как скорость, так и точность. Наша запатентованная технология RCE сочетает эллипсометрию с вращающимся компенсатором с высокоскоростным CCD-детектированием для сбора всего спектра (сотни длин волн) за доли секунды с широким набором конфигураций. M-2000 – это первый эллипсометр, который действительно превосходно справляется со всеми задачами: от мониторинга на месте и управления процессом до картирования однородности на больших площадях и определения характеристик тонких пленок общего назначения. Ни одна другая технология эллипсометров не позволяет получить полный спектр быстрее.
Передовая технология эллипсометра
В M-2000 используется запатентованная технология RCE (эллипсометр с вращающимся компенсатором) для достижения высокой точности и прецизионности.
Быстрое обнаружение спектра
Конструкция RCE совместима с передовым, проверенным CCD детектором для одновременного измерения ВСЕХ длин волн.
Широкий спектральный диапазон
Более 700 длин волн от ультрафиолетового до ближнего инфракрасного диапазона – все одновременно.
Гибкая системная интеграция
Благодаря модульной оптической конструкции, M-2000 подходит для прямого крепления к вашей технологической камере или установки на любой из наших настольных баз.
Точность
Усовершенствованная конструкция обеспечивает точность эллипсометрических измерений для любого образца.
