Description
Новый CD-SEM, разработанный для узлов с технологией менее 22 нм и выше.
Усовершенствованная система измерения компакт-дисков CEM CG5000 (HITACHI CD-SEM) обеспечивает высокое разрешение, высокую пропускную способность и воспроизводимость благодаря использованию усовершенствованной электронной оптики, усовершенствованной обработке изображений и новой системы передачи пластин.
CG5000 также способен к усовершенствованной автоматической калибровке, обеспечивая долговременную стабильность.
Кроме того, CD-SEM CG5000 имеет новые области применения и методы измерения, позволяющие решать измерительные задачи при разработке новых процессов и материалов с шагом 1Xnm.
