Описание
Многоточечная NanoGauge система измерения толщины пленки C11295 представляет собой систему измерения толщины пленки с использованием спектральной интерферометрии. Она предназначена для измерения толщины пленки в процессе производства полупроводников, а также для контроля качества APC и пленок, установленных на оборудовании для производства полупроводников. Позволяет проводить многоканальные измерения в реальном времени, что обеспечивает одновременное многоканальное измерение и многоточечные измерения на пленочных поверхностях. Одновременно может измерять отражательную способность (пропускаемость), цвет объекта и их изменение с течением времени.
Особенности
– Одновременное измерение толщины пленки до 15 точек
– Бесконтактная работа
– Стабильное долговременное измерение путем коррекции колебаний интенсивности света
– Функция сигнализации и предупреждения (прошел/не прошел)
– Измерения отражения (пропускания) и спектра
– Высокая скорость и высокая точность
– Измерение в реальном времени
– Точное измерение колеблющейся пленки
– Анализировать оптические константы (n, k)
– Внешний контроль доступен
Спецификации
Номер типа: C11295-XX*1
Диапазон измеряемой толщины пленки (стекло): от 20 нм до 100 мкм*2
Воспроизводимость измерения (стекло) : 0,02 нм*3 *4
Точность измерения (стекло) : ±0,4 %*4 *5
Источник света: Ксеноновый источник света *6
Длина волны измерения: от 320 нм до 1000 нм
Размер пятна : Приблизительно φ1 мм*4
Рабочее расстояние: 10 мм*4
Количество измеряемых слоев : макс. 10 слоев
Анализ : БПФ-анализ, анализ подгонки
Время измерения: 19 мс/точка*7
Форма разъема волоконного кабеля : SMA
Количество точек измерения: от 2 до 15
Внешняя функция управления : Ethernet
Интерфейс: USB 2.0 (Главный блок – компьютер)
RS-232C (Источник света – компьютер)
Источник питания : AC100 В до AC240 В, 50 Гц/60 Гц
